Le stage vise à développer et caractériser un procédé de gravure par plasma de matériaux diélectriques sur les briques Via et Contact d’une intégration Mémoires répondant à des spécifications du client.

Une première phase passera par l’étude des sélectivités de gravure des matériaux en présence: SiO2, SiN, résine sur un équipement industriel de la ligne 300mm, Vous devrez ensuite transférer ces procédés optimisés et les caractériser sur des dispositifs réels. Vous aurez à votre disposition tous les moyens de caractérisations morphologiques et physico-chimiques disponibles sur la plate-forme, pour comprendre tous les mécanismes mis en jeu (ellipsométrie, CD-SEM, AFM, XPS). Enfin, vous ferez une recommandation d’un procédé optimisé (sélectivité, profil, variabilité) pour un transfert technologique sur le véhicule de tests du LETI. Tous les résultats et analyses seront consolidés par une étude bibliographique sur le sujet.

Vous travaillerez, en toute autonomie, de manière transverse avec les équipes procédés et caractérisations. Outre vos connaissances sur les matériaux, de grandes qualités relationnelles seront un plus.

Pour postuler à cette offre, merci de contacter Mme BOIXADERAS Christelle à l'adresse suivante : christelle.boixaderas@cea.fr