Expires soon CEA

Transfert de contaminants métalliques entre containers et substrats silicium H/F

  • Stage
  • Grenoble (Isère)
  • IT development

Job description

Détail de l'offre

Informations générales

Entité de rattachement

Le Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA) est un organisme public de recherche.

Acteur majeur de la recherche, du développement et de l'innovation, le CEA intervient dans le cadre de ses quatre missions :
. la défense et la sécurité
. l'énergie nucléaire (fission et fusion)
. la recherche technologique pour l'industrie
. la recherche fondamentale (sciences de la matière et sciences de la vie).

Avec ses 16000 salariés -techniciens, ingénieurs, chercheurs, et personnel en soutien à la recherche- le CEA participe à de nombreux projets de collaboration aux côtés de ses partenaires académiques et industriels.

Référence

2019-10524

Description du poste

Domaine

Technologies micro et nano

Contrat

Stage

Intitulé de l'offre

Transfert de contaminants métalliques entre containers et substrats silicium H/F

Sujet de stage

La propreté des plaques Silicium (wafers) utilisées dans l'industrie microélectronique est obligatoire tout au long de la chaine de fabrication pour obtenir un haut rendement de fabrication. En effet la présence d'impuretés métalliques peut avoir des effets néfastes sur les procédés mis en œuvre (modification de croissance de couche, propriétés électriques…) et sur les performances finales du dispositif. Les substrats sont transportés et connectés aux équipements de procédés en utilisant des containers en polymères, les zones de contact se limitant aux bords des plaques. Cette zone est donc une zone sensible au transfert de contaminants entre le container et le substrat, et la propreté des containers absolument critique.

Durée du contrat (en mois)

6 mois

Description de l'offre

Au sein des salles blanches de la plateforme R&D des technologies silicium du LETI, le travail demandé s’articulera autour de 2 objectifs. Tout d’abord, il s’agira de faire un état des lieux de la contamination des containers polymères de transport et manipulation des wafers Si dans une ligne industrielle. Ensuite, l’évaluation de l’efficacités des procédés standards de nettoyage humides de ces boites sera réalisée. Des procédés de nettoyage alternatifs pourront être testés et évalués en collaboration avec un partenaire industriel.

Pour ce faire, des protocoles expérimentaux utilisant des wafers témoins insérés dans les containers seront mis en œuvre pour évaluer le transfert de contaminants aux substrats et les techniques ultra sensibles que sont la TXRF (Total reflection X-ray Fluorescence) et la VPD-ICPMS (Vapor Phase Decomposition – Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry) seront utilisées pour mesurer les contaminants métalliques.

Pour postuler à cette offre, merci de contacter Mr FONTAINE Hervé à l'adresse suivante : herve.fontaine@cea.fr

Ideal candidate profile

Profil du candidat

Ecole d'ingénieur en physico-chimie des matériaux, caractérisation physico-chimique/ Master 2